當強力的超聲波輻射到液體中，清洗液以靜壓(一個標準氣壓)為中心進行變化，在壓力到零氣壓以下時，溶解在液體中的氧會形成微小氣泡核，進而產生無數近似真空的微小空洞(空穴)。
二、加速度作用
清洗液體經超聲波輻射，液體分子發生振動，這種振動加速度在28KHZ時是重力加速度的103倍，在950KHZ時將達到105倍，由這個強力加速度可以對受污物的表面實行剝離清洗。
三、物理化學反應的促進作用
由超聲波清洗機空穴作用使液體局部發生高溫高壓(1000氣壓，5500℃)，再經振動產生的攪拌，促使化學或物理作用的相乘，液體不斷地乳化分散，進一步促進化學反應的速率.
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